四極質(zhì)譜儀因其相對(duì)可靠、較好的性能價(jià)格比的優(yōu)勢(shì)適合于定性、定量分析。其主要部件是質(zhì)量過(guò)濾器，用于過(guò)濾荷質(zhì)比不同的離子。
 

　　四極質(zhì)譜儀是基于在直流高頻四極分析領(lǐng)域中具有不同質(zhì)荷比的離子的軌跡的穩(wěn)定性來(lái)實(shí)現(xiàn)質(zhì)量分離的。它由四個(gè)平行且對(duì)稱(chēng)放置的雙曲面電極(使用圓棒電極代替圖中的雙曲面電極)組成，這四個(gè)電極成對(duì)連接，并且直流和高頻疊加電壓Phi = U-Vcos T(12-45)式中，Umdash，mdash，直流電壓，Vmdash，mdash，高頻電壓振幅， mdash，mdash，敢打電壓角頻率( = 2pi，f)。這樣，就形成了雙曲線電勢(shì)分布的形式romdash，mdash，即雙曲面電極的內(nèi)接圓的半徑(簡(jiǎn)稱(chēng)場(chǎng)半徑)。當(dāng)質(zhì)荷比為m / e的離子沿著Z軸(分析場(chǎng)的場(chǎng)軸)進(jìn)入分析場(chǎng)時(shí)，離子的運(yùn)動(dòng)方程可以表示為方程(12-47) ，表明離子在Z方向上以恒定速度運(yùn)動(dòng)，而y和y方向上的運(yùn)動(dòng)方程是火星微分方程。為了將其轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)的Mathian微分方程，可以將以下運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)換離子方程寫(xiě)為標(biāo)準(zhǔn)的Mathian微分方程。從表中的數(shù)據(jù)可以看出，示例在Y方向上的移動(dòng)主要基于。在該方向上的移動(dòng)主要由基頻和一次諧波決定。(a)和(b)當(dāng)beta，y = 0.05(ay = mdash，0.233982，qy = mdash，0.704396)，和beta，x = 0.95(ax = + 0.233982，qx = + 0.704396)Y和X個(gè)穩(wěn)定的運(yùn)動(dòng)軌跡示例。從中可以看出，Y方向的運(yùn)動(dòng)主要由基頻決定，而X方向的運(yùn)動(dòng)主要由基頻和一次諧波之差決定。從火星安徽偏方程的解中，我們還可以獲得穩(wěn)定離子運(yùn)動(dòng)的較大振幅。
 

　　四極質(zhì)譜儀的精度高，用于監(jiān)測(cè)真空系統(tǒng)，能準(zhǔn)確地辨別常規(guī)的殘余氣體，便于及時(shí)檢測(cè)真空問(wèn)題與快速解除故障。這臺(tái)全內(nèi)置的儀器可容易地連接任何真空室，內(nèi)置程序和TCP/IP接口，用于控制ToolCheck和運(yùn)行于系統(tǒng)控制器的標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)頁(yè)瀏覽器查閱結(jié)果，無(wú)需外接計(jì)算機(jī)。