飛行時間二次離子質(zhì)譜儀在表面分析中具有很高的靈敏度。該方法利用一次離子激發(fā)樣品表面微量二次離子,并根據(jù)二次離子飛向探測器的時間長短來確定離子質(zhì)量。由于離子在TOF-SIMS中的飛行時間只與質(zhì)量有關(guān),所以它一次脈沖就可以得到全譜,離子利用率高,可以實現(xiàn)樣品的靜態(tài)分析。
二次離子質(zhì)譜儀的飛行時間只取決于離子的質(zhì)量。由于它一次脈沖可以得到全譜,離子利用率最高,可以實現(xiàn)樣品幾乎無損的靜態(tài)分析。
1、有機質(zhì)表面表征,能分析元素的面分布,分辨率在5-10nm之間。
2、鑒別金屬,玻璃,陶瓷,薄膜或粉末表面的有機物層或無機層,能夠分析有機物并直接輸出分子式。
3、極小面積分析,最小區(qū)域直徑為80納米。
4、深度分辨率良好(0.1-1納米),但是濺射速率非常慢(小于1μm/H)。
5、可以提供樣品的三維圖像信息。
6、同位素豐度分析(英文).
7、采用TOF-SIMS技術(shù)對產(chǎn)品表面膜層成分進行定性分析,采用TOF-SIMS技術(shù)對膜層成分進行定性分析。
8、當(dāng)膜層和基材的截面出現(xiàn)了分層現(xiàn)象,但沒有發(fā)現(xiàn)明顯的雜質(zhì)痕跡時,可以使用TOF-SIMS進行表面微量物質(zhì)成分分析,以確定是否存在外來污染,檢出限為ppm。